事業紹介

• 設計・製作

  1. 最先端科学技術研究開発用途実験装置・機器の設計・製作
     1. 高エネルギー粒子加速器関連分野
        （電子銃、イオン源、加速管、各種ビームモニター、セプタム電磁石等）
     2. 放射光、自由電子レーザー関連分野
        （硬X線/軟X線分光器、ビームライン、X線集光ミラーシステム、ミラーベンダー、高次光除去システム、実験ステーション等）
     3. 表面物性、真空、分析化学関連分野
        （半導体、薄膜、電子物性等評価装置、分子線、イオン工学、質量分析装置等）
     4. 原子力、プラズマ・核融合関連分野
        （ジャイロトロンミリ波整合器、ミリ波電力分布密度測定装置）
     5. 宇宙、天文分野
        （飛翔体加速実験装置、標準平行X線装置）
     6. X線光学、ナノテクノロジー分野
        （X線反射率計、EUV光学系、EUVリソグラフィ関連装置、EUV偏光度測定装置、X線顕微鏡）
     7. その他、如何なる最先端分野であろうとも
        （EUV光学系絶対波面計測装置、LIGA用大面積露光装置、高出力EUV照射実験装置）
  2. 特殊仕様生産設備の受託対応
     1. 真空仕様生産設備（成膜、半導体、電子ビーム、イオンビーム等）
     2. 超精密生産設備（超精密位置決め、その他超高性能仕様等）

• 受託製作・加工

  1. 超精密装置・機器類
     （超精密位置決め装置、超高真空装置、高分解能・高感度材料分析装置等）
  2. 特殊技能を要する部品加工
     （超精密部品、真空部品、特殊材料等）
  3. 各種解析、特殊装置の受託設計
  4. その他、他社で困難なものなら喜んで

• 自社ブランド製品
  開発・販売

  1. 特殊仕様分析装置
     （超高感度、超微量、微小部、固体表面・バルク、微量ガス、生体等）
  2. 放射光実験関連装置
     （硬X線/軟X線/EUV分光器、X線集光デバイス、X線回折装置、X線反射率測定装置、X線顕微鏡、放射光偏光度測定装置、光電子分光装置等）
  3. 粒子加速器関連装置
     （特殊電子源、イオン源、加速管、加速器、ビームモニター等）
  4. 薄膜関連装置
     （多層膜成膜装置、機能性薄膜成膜装置等）

• 海外製品取扱い

  1. ゲートバルブ、フランジ（KING LAI）
  2. ゲッターポンプ（サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー）
  3. 超精密ミラー（Bertin Winlight、Crystal Scientific）
  4. MBEシステム、ソース等（MBE-Komponenten）
  5. Cluster-TOF-SIMS、各種イオン銃等（IONOPTIKA）

• 主要納品先
  （順不同敬称略）

  民間企業

  （株）IHI
  アズビル（株）
  （株）アドバンテスト
  （株）アルバック
  岩崎通信機（株）
  ウシオ電機（株）
  AGC（株）
  NTT（株）
  NTTアドバンステクノロジ（株）
  カナデビア（株）
  川崎重工業（株）
  キヤノンアネルバ（株）
  キヤノン（株）
  ギガフォトン（株）
  （株）神戸製鋼所
  コニカミノルタテクノプロダクト（株）
  （株）小松製作所
  （株）島津製作所
  住友重機械工業（株）
  住友電気工業（株）
  ソニー（株）
  多田電機（株）
  （株）デンソー
  電気興業（株）
  デンカ（株）
  東京エレクトロン（株）
  （株）東芝
  東芝デバイス＆ストレージ（株）
  トヨタ自動車（株）
  （株）豊田中央研究所
  ナガセテクノエンジニアリング（株）
  （株）ニコン
  日本酸素（株）
  日本高周波（株）
  日本製鉄（株）
  （株）ニューフレアテクノロジー
  NEOMAXエンジニアリング（株）
  浜松ホトニクス（株）
  （株）日立製作所
  （株）日立ハイテクアナリシス
  富士通（株）
  （株）プロテリアル特殊鋼
  三菱ガス化学ネクスト（株）
  三菱重工業（株）
  三菱電機（株）
  （株）ユニソク
  ほか

  大学・研究機関・公的機関

  国立研究開発法人　宇宙航空研究開発機構（JAXA）
  国立研究開発法人　国立環境研究所（国環研）
  国立研究開発法人　産業技術総合研究所（AIST）
  国立研究開発法人　新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）
  国立研究開発法人　日本原子力研究開発機構（原子力機構）
  国立研究開発法人　物質・材料研究機構（NIMS）
  国立研究開発法人　理化学研究所（RIKEN）SPring-8／SACLA
  国立研究開発法人　量子科学技術研究開発機構（QST）Nano Terasu
  公益財団法人　科学技術交流財団あいちシンクロトロン光センター（Aichi SR）
  公益財団法人　高輝度光科学研究センター（JASRI）SPring-8／SACLA／Nano Terasu
  公益財団法人　佐賀県産業振興機構九州シンクロトロン光研究センター（SAGA-LS）
  一般財団法人　光科学イノベーションセンター（PhoSIC）
  独立行政法人　交通安全環境研究所（NTSEL）
  自動車用内燃機関技術研究組合（AICE）
  防衛省
  大学共同利用機関法人　高エネルギー加速器研究機構（KEK）
  大学共同利用機関法人　自然科学研究機構核融合科学研究所（NIFS）
  大学共同利用機関法人　自然科学研究機構分子科学研究所（IMS）

  大阪公立大学
  大阪大学
  大阪電気通信大学
  岡山大学
  沖縄科学技術大学院大学
  関西大学
  九州大学
  京都大学
  慶応義塾大学
  工学院大学
  佐賀大学
  上智大学
  千葉工業大学
  千葉大学
  電気通信大学
  東海大学
  東京科学大学
  東京大学
  東京都立大学
  東京農工大学
  東北大学
  豊田工業大学
  名古屋大学
  日本大学
  兵庫県立大学
  広島大学
  福井大学
  防衛大学校
  北海道大学
  三重大学
  山梨大学
  横浜国立大学
  立命館大学
  早稲田大学
  ほか

  海外

  ALBA（Spain）
  Argonne National Laboratory（ANL）（USA）
  Brookhaven National Laboratory（BNL）（USA）
  Canadian Light Source（CLS）（Canada）
  Cornell High Energy Synchrotron Source（CHESS）（USA）
  Diamond Light Source（DLS）（UK）
  Durham University（UK）
  European Synchrotron Radiation Facility（ESRF）（France）
  European XFEL（Germany）
  Institute for Basic Science（IBS）（Korea）
  Institute of High Energy Physics Chinese Academy of Sciences（IHEP）（China）
  Lawrence Berkeley National Laboratory（USA）
  MAX IV（Sweden）
  National Synchrotron Radiation Research Center（NSRRC）（Taiwan）
  Paul Scherrer Institute（PSI）（Switzerland）
  Pohang University of Science and Technology（POSTECH）（Korea）
  Raja Ramanna Centre for Advanced Technology（RRCAT）（India）
  Shanghai Institute of Applied Physics（SINAP）（China）
  SLAC National Accelerator Laboratory（USA）
  Synchrotron Light Research Institute（Public Organization）（SLRI）（Thailand）
  Synchrotron SOLEIL（SOLEIL）（France）
  ほか