クリーンルームの洗浄度は、クラス１０００とクラス１００００の２部屋を完備して、通常の真空装置はもとより、より高い真空度が必要となる真空装置を設置しています。精密な計測を可能にする堅固な基礎打ちを行い、多様な装置の組立を可能にする高さと広さを確保しています。