恒温室
外乱要因を最小限に抑えた環境を完備
延床面積３２０㎡を誇り、４部屋に分かれた恒温室は、常に温度２３.０℃と湿度５５％を保ち、クリーンルーム仕様クラス１０００００を整え、温度変動や振動などの外乱要因を最小限に抑えた環境の下、高精度かつ多種多様な加工や測定を可能にしています。
三次元測定機（Zeiss ACURAⅡ RDS VAST XXT）
超精密旋盤（東芝機械 ULC-１００D(S)）
三次元光学式プロファイラー（Zygo NexView ８３００）
レーザー干渉計（Renishaw XL-８０ & Agilent ４１５６B）
オートコリメータ（Moller-Wedel MELCOMAT３０００）
他