放射光軟Ｘ線不等間隔平面回折格子分光器（KEK/PF　BL-2C）

Ｘ線全反射集光ミラー駆動装置（FMP-1000Aシリーズ）

Ｘ線ミラー用多層膜形成装置（VST3000-R）

真空封止型アンジュレーター用真空槽