トヤマの基盤技術を結集した 最先端科学実験装置群 トヤマの守備範囲は実に広範多岐。最先端科学の分野でカバーしていない領域を見つけ出すのが困難なくらいです。 トヤマの基盤技術を結集した製品例を、最近の主要業務分野ごとに紹介します。 （1）半導体関連実験装置 X線縮小投影露光光学系ステージ (NTTシステムエレクトロニクス研究所殿) 軟X線を利用したリソグラフィの心臓部を形成する光学系ステージ。超高真空中での高精度な位置決めが要求されます。 この装置の最新製品情報へ （2）物性研究用分析装置 2次元光電子分光装置 (日本原子力研究所殿) 放射光ビームラインの実験ステーションに設置され、2次元的な光電子分光実験を行う装置。微弱な磁場をも遮薮するために3重のパーマロイシールドが内蔵されています。 この装置の最新製品情報へ （3）核融合関連実験装置 中性粒子分析測定器 (核融合科学研究所殿) 大型ヘリカル核融合実験炉においてプラズマ中の中性粒子のエネルギー分析を行う装置。実験炉からの漏洩磁場が強力なことから、非磁性の部品で構成されています。 この装置の最新製品情報へ （4）分光器 軟X線VSPG型分光器用グレーティングチャンバー (川崎重工業株式会社殿) 最新鋭の不等間隔平面回析格子(VSPG)型軟X線分光器の心臓部を形成するグレーティングチャンバー。2枚の球面鏡と5枚の回析格子が内蔵されており、超高真空中での超高精度な波長掃引が可能です。 この装置の最新製品情報へ （5）ビームラインコンポーネント XYスリット駆動部 (理化学研究所殿他) SPring-8の放射光ビームラインのフロントエンド部に設置され、2次元的にビームを整形するXYスリットの受光部を高精度に位置決めするための駆動機構です。 この装置の最新製品情報へ （6）粒子加速器 高エネルギー電子入射器 (高エネルギー加速器研究機構殿) KEKのBファクトリー計画に伴う電子入射器(リニアック)の増強工事に協力。電子銃をはじめとするコンポーネント類の製作、および据付工事を行っています。 この装置の最新製品情報へ （7）放射光用実験装置 軟X線光化学実験装置 (理化学研究所殿) 放射光軟X線の光化学反応によって生成するイオンならびに光電子の角度分布およびそれらの相関を測定する装置。超高真空を保持した状態でメインチャンバー外部に取り付けられた分析装置を光軸回りに回転させることができます。 この装置の最新製品情報へ （8）薄膜形成装置 光反応CVD実験装置 (株式会社富士通研究所殿) 放射光による光反応CVD実験を行う装置。ロードロック、搬送、試料クリーニングなどの機能がすべて盛り込まれています。 この装置の最新製品情報へ ▲ページトップへ▲ ｜トヤマの技術トップ｜ ｜トヤマの基盤技術を結集した最先端科学実験装置群｜ ｜熟練の技と人｜トヤマ製品開発ストーリー｜