高温ガス雰囲気材料試験装置
高温材料の試料にイオンビームを当てて、イオンプローブ法により材料の評価を行う装置。マニピュレータによる試料の微調整、試料加熱、ガス導入が行える。
θステージ評価実験用真空チェンバー
振動を嫌う実験のため、チェンバー、排気系が除振台よりサポートされている。光学窓のある角型チェンバーの板厚も真空に対する歪みを考慮し設計されている。
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