TOYAMA-物性研究用分析装置

極高真空表面解析装置

高分解能電子エネルギー損失分光（HR-EELS）用のパーマロイ製チャンバー。残留磁場10mG以下（外部磁場が磁気、チャンバー中心部の試料付近において）で極高真空対応の設計がされている。