分光器

2結晶分光器
ゴルブチェンコ方式の2結晶分光器です。結晶際サイズは20mm×20mm(標準)で、光軸のオフセット量は40mmです。第1結晶の振り、アオリ調整は大気中にて手動調整、第2結晶の振り、アオリ調整は真空中にてマイクモータでの調整となります。又、標準品はOリングシールチャンバーとなりますが、超高真空対応品の実績もあります。
直入射分光器
小型光源用に設計された3mオフプレーンイーグルタイプの高分解能直入射分光器で広島大学HiSOR、BL-9に設置されています。2枚の回折格子が内蔵されており、4〜40eVの波長範囲をカバーできます。
軟X線斜入射分光装置総組立
小型光源用に設計された(光源からサンプルまで約12m)不等間隔平面回折格子(VSPG)型軟X線分光器です。広島大学HiSOR、BL-6に設置されています。グレーティングチャンバーには3枚の回折格子が内蔵されており、100〜1200eVの波長範囲をカバーできます。
BL-1C軟X線分光器総組立
光源からサンプルまで約31mの不等間隔平面回折格子(VSPG)型高分解能軟X線斜入射分光器です。高エネルギー加速器研究桟橋のフォトンファクトリーBL-1Cに設置されています。グレーティングチャンバーには3枚の回折格子が内臓されており、20〜250eVの波長範囲をカバーできます。分解能は16000を達成しています。

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