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リフレクトロンタイプ飛行時間型(TOF)質量分析装置
KNTOF-1800 |
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■概要
気相化された原子・分子クラスターなどの中世粒子をパルス的にイオンビーム化したものや、各種のイオン源よりパルス的に引き出したイオンビームを一定の電場で加速すると、質量により速度の差が発生します。本装置は、この速度差を検出器までの飛行時間差に置き換えて質量スペクトルを計測するものです。
■利点
四極子型質量分析計のように計測可能な物質の質量範囲の上限がありません。
- 各パルスイオンビームごとに全イオンの質量分布が連続スペクトルで得られ、イオン源の変動が大きい場合でも、イオンの分布を精度よく計測できます。
- 原理が非常にシンプルであり、二段階加速電場やリフレクトロンを用いることによって容易に高い分解能が得られます。
- 原理的に質量に依存しない均一な透過率(検出効率)が得られ、また、マスゲートを利用することによって、特定の質量範囲のイオンのみを検出することも可能です。
- 中性粒子のみならず各種の荷電粒子(イオン源)についても、引出し電極部を改造することによって計測が可能です。
■外観図(図をクリックすると拡大でご覧になれます)
■特徴
- イオン化法として、レーザー、電子銃、その他が自由に選択可能です。(標準装備にはイオン化装置は含まれません)また、各種荷電粒子ソース(イオン源)を計測対象とすることも、引き出し電極部を改造することで対応可能です。
- 二段階加速電場およびリフレクトロンを装備することにより、計測対象ソースの初期空間分布、初期速度分布の影響を可能な限り低減させました。
- コンパクトな設計で飛行距離は1800mmを確保。高分解能が達成可能です。
- 専用に開発したメッシュ電極(透過率90%)を用いており、検出効率の低下を極力抑えました。
- リフレクトロン部は角度可変となっており、不安定なイオンの観測などに威力を発揮します。
- マスゲートを標準装備。特定の質量範囲のイオンのみを検出器に導くことが可能です。(マスゲート用パルス電源はオプション装備となります)
- 飛行中のイオンパルスにレーザーを照射するなど、多目的に利用できるICFポートを標準で多数個装備しました。
- 検出用MCPには、有効径14.5mmφの小型・高ゲインタイプ(浜松ホトニクス製F4655ベース)を採用、高感度の信号が得られます。(標準装備には検出信号処理用デジタルオシロスコープは含まれません)また、ICF070フランジにマウントすることで外部より着脱可能となり、メンテナンスを容易にしました。
- イオンパルスビームの飛行方向制御のためのデフレクター(垂直&水平)、およびビーム収束用のアインツェルレンズを標準装備。ビームを確実に検出器に導くことが可能です。
- ソース側(イオン化部)とTOFチューブ側とを遮断するためのゲートバルブを標準装備。TOFチューブ内の真空を破ることなく、ソース側のメンテナンスが可能です。
- 10-8Torr台の超高真空下での計測が可能。ノイズの影響を最低限に抑えることができます。(標準装備には排気装置は含まれません)
- オプションの電源を用いれば、負イオンの分析用にも利用可能です。
- スキマー、高質量イオン計測用イオン再加速電極、解析用ソフトなど豊富な周辺オプションも準備。お客様の御要望に合わせたシステムの提案も可能です。

引き出し電極部 |
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リフレクトロン部 |

マスゲート |
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検出器部 |

専用電源 |
■仕様
質量分解能
(参考実測値=グラフご参照) |
CO19にて〜2300/ベンゼンにて〜1300 |
| 検出器 |
浜松ホトニクス製MCP(F4655)、有効径14.5mmφ、50Ω整合、ゲイン5×107(2.4kV印加時) |
| 到達真空度 |
〜5×10-8Torr(使用する排気装置による) |
| 外観・寸法 |
添付図御参照 |
| 電源 |
低リップル(0.005%p-p)直流高圧電源×8系統(マスゲート用パルス電源はオプション)
JISラック(482.6mmW×199mmH×424.8mmD) |
■金属クラスターの試料分析例

慶応義塾大学理工学部茅研究室御提供 |
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■有機物質の質量分析例

慶応義塾大学理工学部茅研究室御提供
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上図をクリックすると拡大でご覧になれます。
■基本構成(標準装備)*
| TOF本体:KNTOF-1800 |
・引き出し電極部(引き出し電源、アインツェルレンズ、デフレクター)
・TOFチューブ本体(ゲートバルブ、チャンバー本体、マスゲート、ICFポート)
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検出器部(MCPアセンブリー)
・リフレクトロン部(リフレクトロン電極、角度可変機構) |
| 専用電源:THV-08(マスゲート用パルス電源付=THV-09) |
・電源BOX(各電極用高圧直流安定化電源)
・ケーブル一式
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*イオン化装置、検出信号処理用デジタルオシロスコープ、排気装置は含まれません。トータルシステムとして御要望の場合の御相談に応じます。
このカタログに掲載しております製品の性能および仕様、外観は改良のため予告なしに変更することがありますので、御了承ください。
詳細につきましてはメールにてお問い合わせください。
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