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マイクロヘッド直線導入機シリーズ
LM034-M/LM070-M |
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■使用目的
真空中での微調整および位置決めをするためのマイクロヘッドタイプの直線導入機です。
■特徴
- 圧力が10-8Pa(10-10Torr)以下の超高真空領域まで使用できます。
- 真空シール部にベローズを使用しているため、リークの心配がありません。
- 送りネジ部分にマイクロメータヘッドを採用していますので、精密な調整、位置決めが可能です。
- 最大移動距離はそれぞれ20mm(LM034-M)、50mm(LM070-M)です。
- ハンドル1回転に対するシャフトの移動距離は0.5mmです。
- 移動時のシャフトの回転はありません。
■仕様
| 形式 |
LM034-M |
LM070-M* |
| リーク量 |
<1.3×10-11Pa・m3/sec(1×10-10Torr・L/sec) |
| 真空シール方式 |
ベローズ方式 |
| 許容加熱温度 |
200℃
(マイクロメーターヘッドを除く) |
| 移動距離 |
20mm |
50mm |
| 位置決め目盛 |
0.01mm |
0.01mm |
| 接続フランジ |
ICF034FH |
ICF070FH |
| 重量 |
400g |
(1.2Kg)** |
定価
(千円) |
105 |
200 |
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LM034-M |
*LM070-Mは受注生産になっています。
また上記標準品以外のものも、ご要望に応じて製作いたします。
**( )は参考重量です。
■外観図(図をクリックすると拡大でご覧になれます)

このカタログに掲載しております製品の性能および仕様、外観は改良のため予告なしに変更することがありますので、御了承ください。
詳細につきましてはメールにてお問い合わせください。
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