| 1. |
理化学関係研究機関向け実験装置・機器類 |
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(1) |
粒子加速器周辺機器 |
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*真空関連 |
加速器用真空排気系、ビームダクト、各種真空チャンバー、導波管、真空フィッティング類 |
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*測定器 |
スクリーンモニタ、ビームモニタ駆動装置等 |
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*電磁石 |
Q電磁石、偏向電磁石、補正電磁石、パルス電磁石、集束コイル等 |
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(2) |
放射光(SOR)ビームライン向け装置・機器 |
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VUV〜X線領域各種分光器、超高真空ミラー駆動装置(3軸〜6軸)、ベントミラー装置、ビームシャッター、XYスリット、他ビームライン用機器一式 |
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(3) |
核融合実験機器 |
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真空チェンバー、排気系、RFアンテナ、プラズマ源、イオン源引出し電極 等 |
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(4) |
原子力関連実験機器 |
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マニピュレータートング、ガンマスキャンニング装置、コリメータ 等 |
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(5) |
半導体・薄膜分野実験装置・機器 |
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CVD装置、スパッタ装置、蒸着装置等 |
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(6) |
その他 |
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宇宙開発・物性研究・電子工学等分野向分析装置・実験機器類 |
| 2. |
高真空・超高真空装置及び機器 |
| 3. |
その他 |
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精密機械機器類 |